1.半導體廢氣簡述

隨著（zhe）信（xìn）息化時代的到來，半導體行業也在迅速（sù）發展，半導體廠給社會帶來的經濟效益及就業率有目共睹的，但隨之而來的（de）還有對大氣的汙染。在半導體生產中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成（chéng）分，在製造工藝過程中，這些有（yǒu）機溶劑大部分通過揮發成為廢氣（qì）排放。其廢氣的主要成分是VOCs，同時廢（fèi）氣中還（hái）混合（hé）了HCl、氨、HF等汙染物，此類汙染物排入大氣會造成環境汙（wū）染，同時也會對工廠周圍（wéi）居民身體健康造成影響。因此，必須對半（bàn）導體廢（fèi）氣進行淨化處理後達（dá）到（dào）排放要求。

2.半導體廢（fèi）氣處理（lǐ）方法

半導體廢氣有酸性廢氣、VOCs有機廢氣。半導體酸廢氣處理通常（cháng）采（cǎi）用堿液體噴淋法，又稱（chēng）化（huà）學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可以更好地（dì）捕捉沉降，溶解去除汙染物，而達到大（dà）氣排放（fàng）標準，故噴淋（lín）法是（shì）半導體行業酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。VOCs有機廢氣處理常見（jiàn）主（zhǔ）要（yào）有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法等，下麵天浩洋環保小編詳細介紹半導體廢氣處理方法。

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩（shāi）等）來處（chù）理有機廢氣，這（zhè）樣就能夠通過化學（xué）鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將（jiāng）其吸附在吸附劑的表（biǎo）麵（miàn），從而達（dá）到淨化（huà）有機廢氣的目（mù）的。吸附法目前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性（xìng）物、常溫的低濃度有機廢氣淨化（huà）處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附（fù）可達到95%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性（xìng）炭也是需要找專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物（wù）在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃（rán）燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機廢氣，可以（yǐ）分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的（de）高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法（fǎ）將（jiāng）VOCs廢氣作（zuò）為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效（xiào）率高，可以（yǐ）達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理濃（nóng）度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃（rán）燒（shāo）法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助（zhù）燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或（huò）者（zhě）催化燃燒（shāo）法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其（qí）投資運營成本極高（gāo）。因廢氣排放（fàng）的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的（de）占地麵積。熱力燃燒比較適合（hé）24小時連續不斷運行且濃度較（jiào）高而穩定的（de）廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨（jìng）化效率也相對較低（dī）一些；但貴金屬催化劑容易因為廢（fèi）氣中的雜質（如硫化物）等造成中毒失效，而（ér）更換催化劑的費用很高；同時對廢氣（qì）進氣條件的控製非常嚴格，否則會（huì）造（zào）成催化燃燒室堵塞而（ér）引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光（guāng）解（jiě）淨化法利用高（gāo）能（néng）UV紫外線光束分解（jiě）空氣中的氧分子產生（shēng）遊離氧（yǎng）（即活性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所以需（xū）與氧分子結（jié）合，進而產生（shēng）臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧（yǎng）對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光（guāng）解氧化作用，使（shǐ）有機廢氣、惡（è）臭氣體物質降（jiàng）解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解法（fǎ）具有高效處理效率，可達到（dào）95%以上；適應性強，可適（shì）應中（zhōng）低（dī）濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與（yǔ）維（wéi）護（hù），隻需作定（dìng）期檢查。UV光解法（fǎ）因采（cǎi）用光解（jiě）原理，模塊（kuài）采取隔爆處理，消除了安全（quán）隱患，防（fáng）火、防爆（bào）、防腐蝕性能高（gāo），設備性能安全穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要求高的行（háng）業。

以上關於半導體廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對於半導體（tǐ）廢氣處理，一般（bān）是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如（rú）何收集等方（fāng）麵進行設計。如果您（nín）有半導體廢氣需（xū）要淨化處理，可以隨時撥打400-808-2272 電話，谘詢天浩洋環保,為您提供半導體廢（fèi）氣處理方案及設備。