1.芯片廢氣簡述

芯片作為電子產品核心部件，隨著電子（zǐ）產品的應用越來越廣泛，芯片的需求量在不斷的（de）增長。但是芯片廠在生產工（gōng）藝中使用各種酸液、堿（jiǎn）液、有機溶劑等產生HF、HCl、硫酸霧、氨氣、有機廢氣等汙染物。這些廢（fèi）氣汙染（rǎn）物，若沒有經過淨化處理就直接排放，將會對環境造成嚴重大（dà）氣汙染，還（hái）會危害（hài）周圍居民健康。因此（cǐ）需要（yào）對（duì）芯片廢氣進行淨化（huà）處理後達標排放。

2.芯片（piàn）廢氣處理方（fāng）法

芯片（piàn）在生產過程產生HF、HCl、硫酸霧、氨氣、有機廢氣等（děng）廢氣汙染物，對於HF、HCl、硫酸霧等酸性廢氣采用噴淋堿洗即可處理，氨氣堿性處（chù）理采用噴淋酸性處理（lǐ），而對於有機廢氣處（chù）理方法有很多種（zhǒng），常（cháng）見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵天（tiān）浩（hào）洋小（xiǎo）編詳細介紹芯片廢氣處理方法。

2.1酸堿性廢氣（qì）處理方法（fǎ）

酸性（xìng）廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進行處理，以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣（qì）處理方法是采用“酸液噴淋塔（tǎ）”進行（háng）處理（lǐ），以10%的硫酸溶液（yè）為吸收液。酸性、堿（jiǎn）性廢（fèi）氣洗（xǐ）滌淨化法，在電子行業（yè）生產中應（yīng）用相當普遍，具有運行穩定，處理效果好，投（tóu）資少，處理費用低等優點。

2.2 有（yǒu）機廢氣處理方法

（1）活（huó）性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用（yòng）多孔固體（tǐ）吸附劑（活性碳、矽膠、分（fèn）子（zǐ）篩等）來處（chù）理有機廢氣，這樣就能夠通（tōng）過化學鍵力（lì）或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆（kē）粒物、無粘（zhān）性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性（xìng）炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換新的（de）活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後（hòu）的活性炭也是需要找（zhǎo）專業人員進行（háng）危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法（fǎ）

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫（wēn）及（jí）空氣充足（zú）的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各（gè）類有機廢氣，可以分為直（zhí）接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢（fèi）氣作為燃（rán）料進行燃燒，燃燒溫（wēn）度（dù）一般控製在1100℃，處理效率（lǜ）高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理濃度在（zài）1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒（shāo）所需（xū）的溫度較直接燃燒低，大（dà）約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高（gāo），但VOCs廢氣若含有（yǒu）S、N等（děng）元素，燃（rán）燒後產生的廢氣直接外排會（huì）導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成（chéng）本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難（nán）實現集中收集。燃燒裝置（zhì）需要多套且需要（yào）很大的占地麵積。熱力燃燒（shāo）比（bǐ）較適合24小時連續不斷運行（háng）且濃度較高而穩定的廢氣工（gōng）況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投（tóu）資和運營費用相對熱力（lì）燃燒較低，但淨化效率（lǜ）也相（xiàng）對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如（rú）硫（liú）化物）等造（zào）成中毒失效，而更換催化劑的費用很高（gāo）；同時對廢（fèi）氣進氣條件（jiàn）的（de）控製非常嚴格，否則（zé）會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧（yǎng）），因遊離氧所攜帶正（zhèng）負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡（è）臭氣體進行協同光解（jiě）氧化作用（yòng），使有機廢氣、惡臭氣體物（wù）質降解轉化成低分子化合（hé）物、CO2和（hé）H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達（dá）到95%以上；適（shì）應性（xìng）強，可適應中低濃度，大氣量，不同有（yǒu）機廢氣以及惡（è）臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每（měi）天可（kě）24小時連續工（gōng）作；運行成本低，設備耗能低（dī），無需專人（rén）管理與維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患（huàn），防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適用（yòng）於化工、製藥等防爆要求高（gāo）的行業。

以上關於芯片廢氣（qì）處（chù）理方法介紹，希望可以幫到您（nín），其（qí）實對於芯片廢（fèi）氣（qì）處理，一般（bān）是需要（yào）根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成（chéng）分、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果您有芯片廢氣需要（yào）淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話（huà），谘（zī）詢天浩洋環（huán）保,為您提供芯片廢氣處（chù）理（lǐ）方案及設備。