1.濕電子化學品廢氣（qì）簡述

濕電子化學品，又稱超淨高純化學品，是指主體成分純度大於99.99%，雜質離子和微粒數（shù）符合嚴格要求（qiú）的化學試劑的總（zǒng）稱，主要包括刻蝕液、剝離液、清（qīng）洗液、顯影液。

近年來，濕電子化學（xué）品成為了超大規模集成電路（IC）製造業深入、快速發展中越來越不可缺少的、支撐其新技術發（fā）展的重要輔助材料。因此，它也成為在電子化學品中需求量大（dà）幅度增加、產量與技術高速發展的一類產品。濕電子化學品（pǐn）目前（qián）廣泛應用在平板顯示、LED、太陽能電池、光磁記（jì）錄存儲體產品（pǐn）等領域中，並且在這（zhè）些新型應用領域中發展前景廣闊。但是濕電子化學（xué）品在生產過程產（chǎn）生氯化氫、氮（dàn）氧化物、醋（cù）酸、VOCs等廢氣汙染物，這些（xiē）廢氣汙染物（wù），如果（guǒ）未經過收集淨（jìng）化（huà）處理，直接排放（fàng）進入大氣空氣中，不僅造（zào）成周（zhōu）邊大氣環境空氣汙染，還會（huì）對周邊居（jū）民身體健康有傷害，因此，對濕電子（zǐ）化學品廢氣進行淨化處理後，達到潔淨空氣排放要求。

2.濕電子化學品廢氣處理方法

濕電（diàn）子化學品在生產過（guò）程產生廢氣主要為氯化氫、氮氧化物、醋酸（suān）、VOCs等廢（fèi）氣汙染物，對於氯（lǜ）化氫、氮（dàn）氧（yǎng）化物、醋（cù）酸等酸性廢氣處理采用間（jiān）堿洗（xǐ）法即可處理，然（rán）而對於VOCs有（yǒu）機廢氣處理方法有（yǒu）很多種，常（cháng）見主（zhǔ）要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法，下（xià）麵天浩洋環保小編詳細（xì）介（jiè）紹濕電子化學品廢氣處理方法。

2.1酸性廢氣處理方法（fǎ）

集氣罩收集（jí）酸性廢氣通過管道輸送進入堿洗（xǐ）塔，經廢氣洗滌塔酸堿（jiǎn）中和處（chù）理（lǐ）後，達到國（guó）家排放標準（zhǔn）後排放。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附（fù）法

活性炭吸附法主要原（yuán）理就是利用多孔固體吸附劑（活性（xìng）碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣（qì），這樣就能夠通過化（huà）學鍵力或者是分子引力充分吸附（fù）有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵（miàn），從而達到淨化有機廢氣的目的。吸（xī）附法目前主要應用於（yú）大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物（wù）、無粘性物、常溫的低濃度有機（jī）廢氣（qì）淨化處理（lǐ）。

活性炭淨化（huà）率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用（yòng）遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以（yǐ）後需要更換新的活性炭，更換活（huó）性炭需要費用，替換下（xià）來的飽和以後的（de）活性炭也（yě）是需要找專業（yè）人員進行危廢處理，運行費用高（gāo）。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫（wēn）及空氣充（chōng）足的條件下進行完全燃燒，分解（jiě）為CO2和H2O。燃燒法適用於各（gè）類有機廢氣，可以分（fèn）為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣（qì）一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢（fèi）氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢（fèi）氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料（liào）或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效（xiào）率高，但VOCs廢氣若含（hán）有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會（huì）導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高（gāo）的，但是其投資運營成本（běn）極高。因廢氣排放（fàng）的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多（duō）套且需要很大的占地麵積（jī）。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運行且濃度較高而（ér）穩定的廢氣工（gōng）況，不適（shì）合間斷性的生產產線（xiàn）工況。催化燃燒的（de）投資和運（yùn）營費（fèi）用相對熱力燃燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但（dàn）貴金屬催化劑容易因為廢氣（qì）中的雜質（如硫化物）等（děng）造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否（fǒu）則會造成催化燃（rán）燒室堵（dǔ）塞而引（yǐn）起安（ān）全事故。

（3）UV光（guāng）解淨化法

UV光解淨化法利用高（gāo）能UV紫外線光束分解（jiě）空氣中的氧分（fèn）子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶（dài）正負電子不平衡所以需（xū）與（yǔ）氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧（yǎng）具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體（tǐ）進行協（xié）同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化（huà）成低分子（zǐ）化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效（xiào）率，可達到95%以上；適（shì）應性強，可適應中低濃度，大（dà）氣量，不同有機廢（fèi）氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩（wěn）定可靠（kào），每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低（dī），無需專人（rén）管理與維護（hù），隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了（le）安全隱患，防火、防爆、防（fáng）腐（fǔ）蝕（shí）性能高，設備（bèi）性能安全穩定（dìng），特（tè）別適用於化工、製藥等防爆要求高的行業。

以上關於濕（shī）電子化（huà）學品廢氣（qì）處理方（fāng）法介紹，希望可以幫到（dào）您，其實對於濕電子化學品廢氣（qì）處理，一般是需要根據廢氣（qì）的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵（miàn）進行設計收集處理。如果您有濕電子化學（xué）品廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打（dǎ）400 808 2272電話，谘詢天浩洋環保,為（wéi）您提（tí）供濕電（diàn）子化學品廢氣處理方案及設備。