1.集成（chéng）電（diàn）路廢氣簡述（shù）

集成電路是把（bǎ）特定電路所需的（de）各種（zhǒng）電子組件及線路，縮小並製作在極小麵積（jī）上的（de）一種電子產品。集成電路芯（xīn）片製造主要以晶圓為基本材料，其（qí）生產工藝過程包括矽片清洗、矽片（piàn）氧化、擴散、化學氣相沉積、離子植入、金屬化、光（guāng）刻、蝕刻以及化學機械研磨（mó）等，這些工序反（fǎn）複交叉，包括檢測（cè）和測試在內實際達到300左右的工藝步數。但是在這些工藝過程中產生（shēng）酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣等汙染物，此類汙染物如果不經過淨化處理（lǐ）而排（pái）放會對環境和人身體健康產生危害，為了（le）減少大氣汙染（rǎn）、淨化空氣（qì）達標排放，因此，需要（yào）對集成電路廢氣進行淨化處理後達標排放。

2.集成電路廢氣處理方法

集成電路在製造生產過程產生酸性氣（qì）體、堿性氣體、有機廢氣等汙（wū）染物。對於酸性氣體處理（lǐ）采用（yòng）堿液噴淋（lín）洗滌法，堿性氣體處理采用酸（suān）液噴淋洗滌法（fǎ），而對於有機廢氣處理方法（fǎ）有很多種，常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵天浩洋環保小（xiǎo）編詳細介紹集成電（diàn）路（lù）廢（fèi）氣處理（lǐ）方法。

2.1 酸性（xìng）、堿性氣體處（chù）理方法

酸性廢氣（qì）處理方法是采用“堿液噴淋（lín）塔”進行處理，以（yǐ）10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用（yòng）“酸液噴淋塔”進行處理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌淨化法，在酸堿性（xìng）氣體處理中應用相當普遍（biàn），具有運（yùn）行穩定，處（chù）理效果好，投（tóu）資少，處理費用低等優點。

2.2 有機廢氣處理方（fāng）法（fǎ）

（1）活性炭吸附法

活性（xìng）炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳（tàn）、矽膠（jiāo）、分子篩等）來處理（lǐ）有機廢氣，這樣就能夠通（tōng）過化學鍵力或者（zhě）是分子引力充（chōng）分吸附有害（hài）成分，並（bìng）且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機（jī）廢氣（qì）的目的。吸附法（fǎ）目前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物（wù）、無粘性物（wù）、常溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低（dī）。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭（tàn）需要費用，替換下來的飽和以後的（de）活性炭也是需（xū）要找專業人員進行危廢處（chù）理，運行費（fèi）用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒（shāo），分解為CO2和H2O。燃燒法適用於（yú）各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般（bān）采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為（wéi）燃料進（jìn）行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一（yī）99％。

熱力燃燒法適合於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法（fǎ），廢氣中VOCs濃度較低，需要借助（zhù）其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所（suǒ）需（xū）的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若（ruò）含有S、N等元素，燃燒後產生的廢（fèi）氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒（shāo）或（huò）者催（cuī）化燃燒（shāo）法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排（pái）放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需（xū）要（yào）多套（tào）且需要很大的（de）占地麵積。熱力燃燒比較（jiào）適合24小時（shí）連續不斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷（duàn）性的生產產線工況。催化燃燒的投資和（hé）運營費用相（xiàng）對熱力燃燒較低，但淨化效率（lǜ）也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（zhì）（如硫化物）等造成中毒失效（xiào），而更換催（cuī）化劑的費用很高；同時對廢氣進（jìn）氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引起（qǐ）安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用（yòng）高能UV紫外線光束分解空（kōng）氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧（yǎng）分子結合，進而（ér）產生臭氧，臭氧具有（yǒu）很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣（qì）、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣（qì）體物質降解轉化成低分子（zǐ）化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處（chù）理效率，可達到95%以（yǐ）上；適應性強，可適應中低濃（nóng）度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨（jìng）化處理（lǐ）；產品性能穩定，運行穩定可（kě）靠，每天可24小時連續工（gōng）作；運行成本低，設備（bèi）耗能低，無需專人管理（lǐ）與維護，隻需（xū）作定期（qī）檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定。

以上關於集成電（diàn）路廢氣處理方法介紹，希望可以幫到（dào）您，其實對於集成電路廢氣處理，一般是需要根據廢氣的（de）濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵（miàn）進（jìn）行設計收集處理。如果您有集成電路廢氣需要淨化處理（lǐ），可以隨時撥（bō）打400 808 2272電話，谘詢天浩洋環（huán）保（bǎo）,為您（nín）提供集成電路廢氣處理方案及（jí）設備。