1.電子敏感元件（jiàn）廢氣簡述

電子敏感元件是一種能敏銳地感受某種物理、化學、生物的信息（xī）並將（jiāng）其轉變為（wéi）電信息的特種電子元件。電子敏（mǐn）感元件是傳感器的核心元件。隨著電（diàn）子計算機和信息技術的迅速發展，電子敏感元件的重要性日益增大，帶動了電子（zǐ）敏感元件製造行業快速發展，行業規模迅速擴大（dà），技術水（shuǐ）平提升（shēng），有力推動（dòng）了我（wǒ）國信息化建設和經濟社會發展。但是電（diàn）子敏感元件在製（zhì）造生產過程會產生（shēng）廢（fèi）氣汙染物，其汙染物主要為氫氟酸、氨氣、非甲烷總烴等廢氣汙染（rǎn）物。這些汙染物如果（guǒ）未經過淨化處（chù）理，直（zhí）接排放進（jìn）入大氣，不但對環境造成（chéng）了嚴重汙染，還（hái）嚴重危及周邊居民的身體健康。因此，必須對電子敏感元件廢氣（qì）進行（háng）淨化處理後（hòu）達標排放。

1.1電子敏感元件廢氣來源及成分

氫氟酸酸霧：清洗（xǐ）工序（xù）使（shǐ）用氫氟酸溶液，產生（shēng）酸霧，主要汙染因子為氟（fú）化（huà）氫。

氨氣：PECVD（等離子化學氣相沉積）工序原理是采用進氣管（guǎn）計量將矽烷和氨氣通入 PECVD 管內（nèi），通過化學反應產（chǎn）生氮化矽（guī）。該工序產（chǎn）生含氨氣的廢氣，主要汙染（rǎn）因子（zǐ）為氨氣。

有機（jī）廢氣：絲印燒結（jié）工序產生少（shǎo）量有機廢氣，主（zhǔ）要汙染因子為（wéi）非甲烷總烴。

2.電（diàn）子敏感元件廢氣處理方法

電子敏感元件製造生產過程產生廢氣為氟化氫、氨氣、有機廢氣等廢氣汙染物（wù），對於氟化氫、氨氣等酸堿性廢（fèi）氣（qì）處理采用酸堿中（zhōng）和法即可處理（lǐ），而對於有機廢氣處理方（fāng）法有很多種，常見主要有活性（xìng）炭（tàn）吸附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵天浩洋小編詳細介紹電子敏感元件廢氣處理方法。

2.1 酸堿性廢氣處理方法

酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進行處理，以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進行處理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸（suān）性、堿（jiǎn）性廢氣洗滌（dí）淨化法，在（zài）電子（zǐ）行業生產中應用（yòng）相當普遍，具有運行穩定，處理效果好，投資少（shǎo），處理費用低等優（yōu）點。

2.2 有機廢（fèi）氣處理方（fāng）法

（1）活性炭吸附法

活性炭（tàn）吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（jì）（活（huó）性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣（qì），這樣就能夠通過化學鍵力或者是分（fèn）子引力充分吸附（fù）有害成分，並且將其吸附在（zài）吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢（fèi）氣的目的。吸附法目前（qián）主要應用於大風量（liàng）、低濃度（≤800mg/m3）、無（wú）顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處（chù）理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在（zài）吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭（tàn）需（xū）要費用，替換下來的飽和以後（hòu）的活性炭也（yě）是需要找專業人員進（jìn）行（háng）危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法（fǎ）

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空氣（qì）充（chōng）足的條（tiáo）件下進行（háng）完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有（yǒu）機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將（jiāng）VOCs廢氣（qì）作為（wéi）燃料進行燃燒，燃燒溫（wēn）度一般（bān）控製在1100℃，處理效率高，可以達（dá）到95％一99％。

熱力（lì）燃燒法適（shì）合於（yú）處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢（fèi）氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低（dī），大約為540—820℃。燃燒法（fǎ）處（chù）理VOCs廢氣處（chù）理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生（shēng）的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃（rán）燒或者（zhě）催（cuī）化燃燒法處（chù）理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且（qiě）分散，很難實現集中（zhōng）收集。燃燒裝置需（xū）要多套（tào）且需要很大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小（xiǎo）時連續（xù）不斷運行且濃度較高而（ér）穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營（yíng）費用相對熱力燃燒較低，但淨化效（xiào）率也相對（duì）較低一（yī）些；但貴金（jīn）屬催化劑容（róng）易因為（wéi）廢氣中的雜質（如硫化（huà）物）等造成中毒（dú）失效（xiào），而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催化燃燒（shāo）室（shì）堵塞而引起安全事（shì）故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧（yǎng）），因遊離（lí）氧所攜（xié）帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很（hěn）強的氧化性（xìng），通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭（chòu）氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃（nóng）度，大氣量，不同有機（jī）廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理（lǐ）；產品性能穩定，運（yùn）行穩定可靠，每（měi）天（tiān）可24小時（shí）連續（xù）工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維（wéi）護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取（qǔ）隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防（fáng）爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特（tè）別適用於（yú）化工、製藥等（děng）防爆要求高的行業（yè）。

以上關於電子敏感元件廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其（qí）實對（duì）於電（diàn）子敏感元件廢氣處理，一般是（shì）需（xū）要根（gēn）據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等（děng）方麵進行設計收集處理。如果您（nín）有（yǒu）電子敏感元件廢氣需要淨化（huà）處理，可以隨時（shí）撥打（dǎ）400 808 2272電話，谘詢（xún）天浩洋環保,為您提供電子敏感元件廢氣處理方案及設備。